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    • 5. 发明专利
    • 絶対変位センサ
    • JP2016003936A
    • 2016-01-12
    • JP2014123851
    • 2014-06-16
    • SEDO KAZUTOOILES INDUSTRY CO LTD
    • SEDO KAZUTOIWASAKI YUICHI
    • G01B7/00G01B21/00G01H1/00
    • 【課題】相対加速度のフィードバックゲインを大きくしても、固有振動数を安定に低下させることができ、長周期振動でも絶対変位を検出し得る絶対変位センサを提供する。【解決手段】絶対変位センサ1は、質量体2と、ばね3を介して質量体2を支持するセンサハウジング4と、質量体2に対するセンサハウジング4の変位における相対速度を検出する検出手段5と、質量体2及びばね3で決定される固有振動数よりも高い高振動数成分を抑制する一方、固有振動数よりも低い低振動数成分を通過させるローパスフィルタ8と、ローパスフィルタ8から出力された相対変位をポジティブに、相対速度及び相対加速度の夫々をネガティブに夫々フィードバックさせて、質量体2の絶対変位を抑制制御するフィードバック制御手段9と、フィードバック制御手段9からの積分して得られた相対変位に所要の振動数領域で3次の位相遅れ補償を施す位相遅れ補償手段10とを具備している。【選択図】図1